SJ 20711-1998 分步投影曝光机通用规范
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ID： |
EC9E620A08D744D4A76CE5EB09E34420 |
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文件大小(MB)： |
0.49 |
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10 |
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日期： |
2024-7-27 |
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中华人民共和国电子行业军用标准,FL9910 SJ 20711—1998,分步投影曝光机通用规范,General specification for step,and repeat exposure systems,1998-03-18 发布1998-05-01 实施,中华人民共和国电子工业部批准,目次,1 范围 （1）,1.1 主题内容.. （I）,1.2 适用范围 （1）,1.3 分类 （1）,2引用文件.. （1）,3要求 （1）,3.1 合格鉴定.. （1）,3.2 外观质量.. （1）,3.3 结构 （1）,3.4 结构性能.. （2）,3.5 安全要求.. （3）,3.6 噪声.. . （3）,3.7 可靠性要求 （3）,3.8 环境要求.. （3）,4质量保证规定. （3）,4.1 检验责任.. （3）,4.2 检验分类.. （3）,4.3 检验条件.. （3）,4.4 鉴定检验.. （4）,4.5 质量一致性检验.. （4）,4.6 检验方法.. （5）,5交货准备.. （6）,5.1 封存和包装 （6）,5.2 装箱 （6）,5.3 运输和贮存 （7）,5.4 标志 （7）,6说明事项.. （7）,6.1 预定用途.. （7）,6.2 定义 （7）,6.3 订货文件内容. （8）,中华人民共和国电子行业军用标准,分步投影曝光机通用规范 SJ 20711-1998,General specification for step and repeat exposure systems,1范围,1.I 主题内容,本标准规定了分步投影曝光机（以下简称曝光机）的分类、要求、质量保证规定,和交货准备等,1.2 适用范围,本标准适用于超大规范集成电路（VLSI）和专用集成芯片（ASIC）以及其它器件,的微细光刻设备。其它类型的曝光机也可参照使用,1.3 分类,曝光机按曝光谱线可分为:g线,1线,远紫外线（DUV）,曝光机按曝光方式可分为:接触、接近式,扫描式,投影式,2引用文件,GB 191—90包装储运图示标志,GB 3768-83噪音源声功率级的测定一丒简易法,GB 5080.7—86设备可靠性试验恒定失效率假设下的失效率与平均无故障时间,的验证试验方案,GB 6388—86运输包装收发货标志,3要求,3.I 合格鉴定,按本规范提交的曝光机应是经鉴定合格或定型批准的产品,3.2 外观质量,设备外表面应无凹痕、碰伤、裂缝、变形等现象;涂镀层不应起泡、龟裂和脱落;,金属零件不应有锈蚀和其它机械损伤;紧固件应无松动现象,3.3 结构,各种传动机构传动部位应灵活、平稳、动作应准确、协调,中华人民共和国电子工业部1998-03-18发布 1998-05-01实施,SJ 20711—1998,3.4 性能特性,3.4.1 工作台,3. 4.1.1工作台的运动速度不得低于50 mm/s.,3.4.1.2工作台的行程根据硅片尺寸而定。其具体数值在产品详细规范中规定,3.4.2 镜头,投影镜头的分辨率根据不同的曝光谱线而定,分别为:,g线曝光机:2卩m~0.811 m；,i 线曝光机:0.8 gm~0.35 pm；,DUV 线曝光机:0.35 pm~0,18 pm〇,3.4.3 曝光系统,3.4.3.1 曝光系统应具有光强调节装置,应曝光均匀,光源调节方便灵活,准确可靠,3.4.3 . 2曝光系统的曝光均匀性随分辨率要求而定，一般不得大于2.5%,3.4.4 调焦、调平系统,3. 4,4.1曝光机应对硅片进行整片或逐场调焦，调焦精度为0.5叩!.0.1国L,3. 4, 4. 2当线宽设计规则小于、等于1 pm时,必须采用调平系统,调平精度为0.5 pm-,0.1 pm,当线宽设计规则小于、等于0.5 pm时,则需采用逐场调平系统,3.4.5 掩模光栏系统,曝光机应有掩摸光栏,掩模光栏一般为分离的四块遮挡板组成,可在任意位置对,任意尺寸进行调节,3.4.6 掩摸版,3.4. 6.1掩模版应有双面薄膜保护,并置于版盒中,3. 4. 6, 2版库通常应可容纳6块.10块版,3.4.7 减震台,曝光机应设有减震装置（如空气弹簧），并具有自动找平功能,应保证不影响曝光,机的各种运行精度,3.4.8 对准系统,曝光机的对准方式可采用同轴对准或离轴对准,3.4.9 整机,3.4. 9.1曝光机的套刻精度为线宽设计规则的1/3.1/5,3. 4. 9.2硅片一般采用背面传输方式,3.4.9. 3片盒容量一般为25片,3.4.9.4曝光机的生产率应不小于20片Zh,3. 4, 9. 5曝光机应具有净化小室。净化小室分机器自带局部净化小室和外加净化室两,-2 -,SJ 20711—1998,种。根据芯片线宽设计规则确定净化级别,一般为100级、10级、1级,3. 5安全要求,3.5.1曝光机整机必须设置接地螺钉和明显的接地标志,3. 5. 2动カ电路和控制电路对机壳绝缘电阻应不小于2 MC,3. 5.3曝光机激光光路及曝光光源应有保护装置,以免对人眼及皮肤造成损害,3.6 噪声,曝光机运转时噪声应小于50 dB,3.7 可靠性要求,曝光机应规定可靠性指标。具体要求在产品详细规范中规定,3.8 环境要求,曝光机在下列环境条件下应能正常工作:,a.环境温度:20 ℃~24 ℃；,b.相对湿度:W50%；,c.电源：380/220 V±5%；,d.频率：50 Hz±l Hz；,e.振幅：W8国n,4质量保证规定,4.1 检验责任,除合同或订单中另有规定外，承制方应负责完成本规范规定的所有检验。必要时,订购方或……
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